首頁 / 知識分享 / 新知分享 新知分享 · 2026.06.01

ESD 接地系統量測:從 S20.20 看 EPA 常見問題

ANSI/ESD S20.20 的核心精神是:所有導體(包括人員)都應接地或等電位連接,並以量測紀錄證明防護持續有效。驗證稽核現場,靜電防護區(EPA)的問題多半不是沒有設備,而是驗收過一次後就沒有再量,或量測方法與限值前後不一致。

先確認防護對象的敏感度

S20.20 以人體放電模型(HBM)100 V、元件充電模型(CDM)200 V,以及孤立導體 35 V 作為防護計畫的設計基準。若產品含有更敏感的元件,組織應在 ESD 管制計畫中另外訂定較嚴格的要求。先釐清防護對象,後面的接地與量測限值才有依據。

接地系統:一切防護的基礎

S20.20-2021 將接地分為設備接地(保護接地)、輔助接地與等電位連接三種型式。一般以電源插座的保護接地為首選,其阻抗應小於 1.0 Ω;使用輔助接地時,與設備接地之間的電阻應小於 25 Ω。常見問題是延長線或多孔插座的接地腳斷開、工作台接地線鬆脫,卻因為「看起來還接著」而沒被發現。

人員接地:腕帶與地板鞋具系統

坐姿作業人員應配戴腕帶,腕帶系統對地電阻須小於 3.5 × 10⁷ Ω,並在每次使用前檢測,或改用連續監測器。站姿作業若以地板與導電鞋接地,人員經鞋具與地板到地的系統電阻須小於 1.0 × 10⁹ Ω,並搭配人體電壓測試,確認電壓低於 100 V。稽核時最常見的缺失是:腕帶每日檢測紀錄有缺漏、檢測失敗後沒有記錄處置,或站姿人員未做鞋具檢測就進入 EPA。

工作台面、座椅與移動設備

工作台面、座椅與推車等移動設備,點對地電阻一般須小於 1.0 × 10⁹ Ω。台面長期使用後,可能因髒污、覆蓋絕緣物或接地扣鬆脫而劣化,所以驗收合格不等於永遠合格,必須依符合性驗證計畫定期量測。

離子風扇與絕緣物管理

製程中無法移除絕緣物時,可使用離子風扇中和電荷。S20.20 要求離子風扇的平衡電壓(offset)在 ±35 V 以內,放電時間由組織自行訂定。製程必要的絕緣物應量測其靜電場,場強較大的物品要與靜電敏感元件保持足夠距離。

符合性驗證計畫:稽核員最常追問的紀錄

S20.20 的行政要求包含 ESD 管制計畫、訓練計畫、產品認可與符合性驗證計畫。符合性驗證計畫要明訂量測項目、方法(通常引用 ESD TR53)、頻率與限值。稽核時會抽查:計畫中的限值是否與標準一致、量測儀器是否校正、超出限值時的處置紀錄,以及量測頻率是否依歷史數據合理訂定。包裝與標示、採購與進料的 ESD 要求,也常一併查核。一份完整、可追溯的量測紀錄,才是 EPA 防護有效的最佳證明。

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